国家/地区 美国(21) 中国(12) 欧洲专利局(EPO)(9) 韩国(9) 世界知识产权组织(9) 日本(8) 德国(4) 印度(2)
IPC部 C(23)
IPC大类 C01(23) H01(23) B82(9)
C23(6) B32(5) B01(2)
C08(2)
IPC小类 C01B(23)
IPC H01L021/02(23)
发明人 RUHL G(2) RUHR G(2)
公开年 2015(10) 2016(8) 2017(5)
申请年 2015(23)
专利权人 FUJITSU LTD(2) GRAPHENEA SA(2) INFINEON TEC.(2)