国家/地区 欧洲专利局(EPO)(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C01B(14)
IPC C23C016/26(14)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2) VAN RIJN R(2)
公开年 2015(4) 2013(2) 2017(2)
申请年 2014(5)  2013(3)  2017(3) 
专利权人 AIXTRON SE(2) RIJKSUNIV LE.(2)