国家/地区 美国(11) 韩国(7) 中国(6) 日本(6) 世界知识产权组织(6) 加拿大(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 台湾(3) 澳大利亚(2)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C23C016/04(11)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3) NARKEVICIUTE I(2)
VARADARAJAN B N(2)
公开年 2021(11)
申请年 2020(7)  2021(4) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4) LAM RES CORP(2)