国家/地区 | 美国(11) 韩国(7) 中国(6) 日本(6) 世界知识产权组织(6) 加拿大(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 台湾(3) 澳大利亚(2) |
IPC部 |
C(11)![]() |
IPC大类 |
C01(11)![]() |
IPC小类 |
C01B(11)![]() |
IPC |
C23C016/04(11)![]() |
发明人 |
NAGEL C J(4)
BRODEUR C L(3)
NARKEVICIUTE I(2)
VARADARAJAN B N(2) |
公开年 |
2021(11)![]() |
申请年 | 2020(7) 2021(4) |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(4) LAM RES CORP(2) |
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K
LEE E, SHIN H, SHIN K, BYUN K, KIM C, LEE C, LEE C S, BYUN K E, SHIN K W, SHIN H J
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L