国家/地区 美国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C01B031/04(8) B82Y030/00(5) C01B032/182(5)
B82Y040/00(4) C01B031/02(3) G01N033/543(3)
B82Y020/00(2) C01B032/186(2) C01B032/198(2)
G01N027/30(2) G01N033/50(2) H01L051/00(2)
发明人
公开年 2015(10)
申请年 2014(6)  2015(3) 
专利权人