国家/地区 欧洲专利局(EPO)(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C01B(14)
IPC C01B031/04(13) C23C016/26(10) C01B032/182(8)
C01B032/186(6) C23C016/46(5) C01B031/02(4)
C01B032/18(4) C01B032/194(4) C23C014/06(4)
B82Y040/00(3) C01B032/15(3) C23C016/01(3)
C23C016/455(3) B05D007/00(2) B05D007/14(2)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(11) 2016(3)
申请年 2014(14)
专利权人 AIXTRON SE(2)