国家/地区 日本(18)
IPC部 C(18)
IPC大类 C01(18)
IPC小类 C01B(18)
IPC C01B031/04(12) C23C016/26(11) C01B031/02(9)
C01B032/182(8) B82Y030/00(6) C01B032/15(6)
C01B032/18(6) C01B032/186(6) C23C016/02(5)
B82Y040/00(4) C23C016/46(4) B32B009/00(3)
C01B032/16(3) C01B032/194(3) C23C014/06(3)
发明人 HOWE W R(2) HUNT J H(2) JOUVRAY A(2)
LI A W(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(12) 2016(4) 2014(2)
申请年 2014(18)
专利权人 AIXTRON SE(2) BOEING CO(2)