国家/地区 美国(9)
IPC部 B(9) C(9) H(6)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C23C016/26(9)
发明人 CHOI J(9)
公开年 2012(3) 2014(2)
申请年 2012(5) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(6) CHOI J(2)