国家/地区 韩国(23)
IPC部 C(23)
IPC大类 C23(23)
IPC小类 C23C(23)
IPC C01B031/04(8) C23C016/26(8) C23C028/00(7)
B82Y030/00(6) H01L021/02(6) B82Y040/00(5)
C01B031/02(5) C01B032/194(5) C23C018/16(4)
C01B032/182(3) C23C014/34(3) C23C016/02(3)
C23C016/56(3) C25D005/54(3) C25D013/02(3)
发明人 GABEN F(2) KIM T W(2) LEE J(2)
LEE S H(2) RHO H K(2) YANG W S(2)
公开年 2021(6) 2014(3) 2015(3) 2011(2) 2016(2) 2017(2) 2018(2)
申请年 2020(4)  2014(3)  2016(3)  2011(2)  2013(2)  2015(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) KOREA ELECTR.(2) KOREA INST S.(2)