国家/地区 美国(7) 世界知识产权组织(6) 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(5) 日本(3) 韩国(3) 英国(2) 新加坡(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10) C30(10) C01(8)
B82(4) H01(3) B32(2)
IPC小类 C23C(10)
IPC C23C016/26(10)
发明人
公开年 2013(10)
申请年 2013(5)  2012(4) 
专利权人