国家/地区 美国(4) 韩国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C30B(9)
IPC B82Y030/00(5) B82Y040/00(5) C01B032/184(4)
C01B032/194(4) C30B029/02(3) C01B032/182(2)
C30B001/02(2) C30B029/16(2) C30B029/64(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(9)
申请年 2017(4)  2018(3)  2016(2) 
专利权人

URBAN J J, RUMINSKI A M, CHO E S, BARDHAN R, BRAND A, WOOD B C, HEO T W, SHEA P T, KANG S Y, ZHOU X