国家/地区 中国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C30(13) H01(12) C23(5)
C01(3) H05(2)
IPC小类 C30B(13)
IPC H01L021/02(9) C30B025/18(8) C30B029/40(6)
C30B029/02(3) C30B033/12(3) C23C014/06(2)
C23C014/35(2) C23C016/26(2) C30B025/16(2)
H01L029/20(2) H01L033/00(2)
发明人 BEN J(2) CHEN Y(2) JIANG K(2)
LI D(2) SUN X(2) ZHANG S(2)
公开年 2022(7) 2023(6)
申请年 2022(13)
专利权人 CHANGCHUN IN.(2)