国家/地区 中国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8)
IPC C30B029/02(6) C30B025/18(4) C23C014/18(3)
C23C014/30(3) C23C016/02(3) C23C016/26(3)
C01B032/186(2) C23C014/35(2) C23C014/58(2)
C23C016/34(2) C23C016/50(2) C30B029/38(2)
H01L021/02(2)
发明人 HU J(2) HU Y(2) LI P(2)
PAN M(2) PENG J(2) QIU W(2)
公开年 2020(4) 2021(4)
申请年 2020(8)
专利权人 UNIV NAT DEF.(2)