国家/地区 中国(5) 美国(3)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C30B(9)
IPC C30B029/02(4) C23C016/26(3) C23C016/54(3)
C30B025/00(3) C30B025/18(3) C23C014/24(2)
C23C016/02(2) C30B025/02(2) C30B029/64(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(9)
申请年 2017(5)  2016(2)  2018(2) 
专利权人 UNIV PEKING(2)