国家/地区 中国(25)
IPC部 C(25)
IPC大类 C30(25) C01(9) H01(9)
C23(8) B01(3) B82(3)
C04(3)
IPC小类 C30B(25)
IPC C30B029/02(13) C30B025/18(8) H01L021/02(5)
C30B029/64(4) B82Y040/00(3) C01B032/186(3)
C01B032/188(3) C23C014/18(3) C23C014/30(3)
C23C016/02(3) C23C016/26(3) C30B001/02(3)
C30B025/10(3) C30B025/16(3) C30B029/38(3)
发明人 PENG J(3) FIMLAND B M(2) HU J(2)
HU Y(2) LI C(2) LI P(2)
LI Y(2) LIU Z(2) MANCEVSKI V(2)
MUNSHI M(2) PAN M(2) QIU W(2)
SUN L(2) VLADIMIR M(2) WANG Y(2)
公开年 2021(16) 2020(9)
申请年 2020(25)
专利权人 CRAYONANO AS(2) UNIV NAT DEF.(2) UNIVERSAL MA.(2)