国家/地区 台湾(30)
IPC部 C(30)
IPC大类 C30(30) C01(23) H01(19)
C23(18) B82(11) B01(3)
B32(3) C04(3) C22(3)
C25(3) C03(2) H05(2)
IPC小类 C30B(30)
IPC C30B029/02(16) C01B031/04(15) C30B025/18(12)
H01L021/02(10) B82Y030/00(8) B82Y040/00(8)
C01B031/02(8) H01L021/20(8) C01B032/186(7)
C23C016/02(7) C23C016/26(6) C01B032/182(5)
H01L029/16(5) C23C016/34(4) C30B025/04(4)
发明人 CHANG C(3) FAN S(3) HUANG K(3)
KOU C(3) VEERASAMY V(3) VEERASAMY V S(3)
WEI Y(3) BERRY V(2) CHANG C C(2)
CHIBA Y(2) CHIBA YOSHIHIRO(2) DIXON S(2)
FAN F Y(2) GI Y(2) GUINEY I(2)
公开年 2014(5) 2013(4) 2017(4) 2022(4) 2011(3) 2012(2) 2015(2) 2016(2) 2021(2)
申请年 2012(6)  2013(6)  2015(5)  2009(2)  2020(2)  2021(2)  2022(2) 
专利权人 GUARDIAN GLA.(3) GUARDIAN IND(3) GUARDIAN IND.(3) HON HAI PREC.(3)
HONGFUJIN PR.(3) IND TECHNOLO.(3) NIPPON MININ.(3) UNIV TSINGHU.(3)
JX NIPPON MI.(2) MAX PLANCK G.(2) PARAGRAF LTD(2) SUNEDISON SE.(2)
UNIV NAT CHE.(2)