国家/地区 美国(63)
IPC部 B(63) C(63) H(31)
G(2)
IPC大类 B82(63)
IPC小类 C30B(63)
IPC B82Y040/00(55) B82Y030/00(43) C01B031/04(40)
C30B029/02(39) C01B031/02(22) C01B032/186(14)
C23C016/26(14) C30B025/18(14) H01L021/02(14)
C01B032/184(12) C01B032/182(11) H01L029/16(11)
C30B029/64(10) C01B032/188(9) C30B029/60(9)
发明人 VEERASAMY V S(5) JANG B Z(4) VEERASAMY V(3)
WANG H(3) XIE X(3) XIONG W(3)
ZHAMU A(3) ARNOLD M S(2) BERRY V(2)
CASTRO A H(2) CHOI J(2) DING G(2)
HAUCK J P(2) LIU H(2) LOH K(2)
公开年 2013(13) 2012(10) 2014(8) 2011(7) 2016(4) 2017(4) 2018(4) 2015(3) 2021(3) 2009(2) 2010(2)
申请年 2012(13)  2013(12)  2011(8)  2009(4)  2014(4)  2016(4)  2017(4)  2015(3)  2008(2)  2010(2)  2020(2)  2021(2) 
专利权人 GUARDIAN IND.(5) NANOTEK INST.(4) UNIV SINGAPO.(4) EMPIRE TECHN.(3)
GUARDIAN GLA.(3) GUARDIAN IND(3) SAMSUNG ELEC.(3) SHANGHAI INS.(3)
CHINESE ACAD.(2) DING G(2) JANG B Z(2) LOCKHEED MAR.(2)
MEMC ELECTRO.(2) SAMSUNG TECH.(2) SUNEDISON SE.(2) UNIV CALIFOR.(2)
UNIV KANSAS .(2) UNIV SINGAPO.(2) WANG H(2) WISCONSIN AL.(2)

URBAN J J, RUMINSKI A M, CHO E S, BARDHAN R, BRAND A, WOOD B C, HEO T W, SHEA P T, KANG S Y, ZHOU X