国家/地区 中国(9)
IPC部 G(9)
IPC大类 G01(9) H01(8) H04(2)
IPC小类 G01J(9)
IPC G01J005/20(5) H01L027/146(3) H01L031/18(3)
G01J001/42(2) H01L031/0224(2) H01L031/09(2)
H01L031/113(2)
发明人 HUANG S(2) LIU C(2)
公开年 2021(9)
申请年 2021(9)
专利权人