国家/地区 美国(14) 中国(11) 世界知识产权组织(11) 韩国(8) 欧洲专利局(EPO)(6) 日本(6) 印度(3) 加拿大(2) 英国(2) 台湾(2)
IPC部 C(30)
IPC大类 G01(30) C01(18) H01(15)
C09(8) B82(7) C23(7)
C08(5) C07(3) B32(2)
C30(2) F16(2)
IPC小类 G01J(30)
IPC G01J001/02(6) G01J001/42(6) C01B031/04(5)
C01B032/182(5) G01J005/20(5) B82Y030/00(4)
B82Y020/00(3) C01B031/02(3) C01B032/184(3)
C01B032/186(3) C08K003/04(3) G01J003/44(3)
H01L027/144(3) H01L029/786(3) H01L031/028(3)
发明人 ZHANG Y(3) KUNDU K(2) MOLONEY J(2)
公开年 2021(10) 2022(4) 2015(3) 2019(3) 2017(2) 2018(2) 2020(2)
申请年 2021(8)  2020(7)  2013(3)  2016(3)  2014(2)  2017(2)  2018(2)  2019(2) 
专利权人