国家/地区 中国(8)
IPC部 H(6) C(4)
IPC大类 H01(6) C23(2)
IPC小类 H01L(6) C23C(2)
IPC H01L021/336(2) H01L029/78(2)
发明人 SUN Q(6) ZHANG W(6) WANG P(4)
WU D(3) ZHOU P(3) CUI X(2)
JIANG T(2) SONG P(2) SUN M(2)
ZHANG X(2)
公开年 2011(8)
申请年 2011(6)  2010(2) 
专利权人 UNIV FUDAN(8)