国家/地区 中国(32)
IPC部 C(30) H(9) B(6)
IPC大类 C01(23) C30(10) H01(9)
C23(6) B82(5) C08(2)
IPC小类 C01B(23) C30B(10) H01L(9)
C23C(6) B82Y(5) C08K(2)
C08L(2)
IPC C01B031/04(20) C30B029/02(7) H01L021/02(7)
C23C016/26(5) B82Y040/00(4) C30B025/02(4)
C30B025/18(4) C01B031/02(3) C08K003/04(2)
C08L071/10(2) C23C016/02(2) C23C016/56(2)
C30B033/02(2) H01L021/04(2)
发明人 GUO H(32)
公开年 2012(32)
申请年 2012(31) 
专利权人 UNIV XIDIAN(28) DENG P(2) GUO H(2) LEI T(2)
UNIV ZHEJIAN.(2) ZHANG K(2) ZHANG Y(2)