国家/地区 日本(58)
IPC部 C(44) H(35) B(25)
IPC大类 C01(38) H01(33) B82(16)
C09(7) C23(7) B01(5)
C08(5) C22(3) H05(3)
B32(2) C25(2) C30(2)
IPC小类 C01B(38) H01L(22) B82Y(16)
H01B(12) C09D(6) C23C(6)
C08K(5) B01J(4) C08L(4)
C22C(3) B32B(2) B82B(2)
C09C(2) C25D(2) C30B(2)
IPC C01B031/02(36) B82Y030/00(15) B82Y040/00(13)
H01L029/786(12) C01B031/04(11) H01L051/30(11)
H01L051/05(10) H01L021/336(9) H01L029/06(8)
H01B005/14(7) H01B013/00(7) H01L021/28(7)
H01L051/40(7) C23C016/26(5) H01B001/00(4)
发明人 INOUE M(5) INOUE T(5) MINAMI N(5)
TAMARU H(5) TSUJIMOTO H(5) KONDO T(3)
WADA T(3) YU Y(3) GOTO T(2)
HIBINO H(2) HIRABAYASHI H(2) IIDA Y(2)
JIPPO H(2) KOBIKI T(2) KON M(2)
公开年 2013(58)
申请年 2011(58)
专利权人 DOKURITSU GY.(6) FUJITSU LTD(6) PANASONIC CO.(6) SEKISUI CHEM.(4)
JX NIPPON MI.(3) TOSHIBA KK(3) DENSO CORP(2) KRI INC(2)
MITSUBISHI G.(2) NAMIKI SEIMI.(2) SUMITOMO CHE.(2) TOKYO INST T.(2)
ULVAC INC(2) UNIV NAGOYA(2) UNIV NIIGATA(2) UNIV YOKOHAM.(2)