国家/地区 德国(20)
IPC部 H(17) B(10) C(7)
G(4)
IPC大类 H01(16) B82(8) C01(6)
B32(2) C07(2) G02(2)
G21(2) H05(2)
IPC小类 H01L(10) B82Y(8) C01B(6)
H01B(3) B32B(2) B82B(2)
C07C(2) G02B(2) G21K(2)
H01M(2) H05K(2)
IPC B82Y040/00(5) B82Y030/00(4) B82Y099/00(4)
C01B031/02(4) C01B031/04(4) H01L029/06(4)
H01L029/16(4) H01L029/78(4) H01B001/04(3)
H01L021/02(3) H01L021/336(3) H01L029/786(3)
B82B003/00(2) B82Y010/00(2) C01B031/00(2)
发明人 CHANDRA B(4) TULEVSKI G S(4) AFZALIARDAKANI A(3)
FREIMANN R(2) XIA F(2)
公开年 2013(20)
申请年 2012(20)
专利权人 INT BUSINESS.(6) BOSCH GMBH R.(2) CHANDRA B(2) GM GLOBAL TE.(2)
TULEVSKI G S(2) ZEISS SMT GM.(2)

HAEGER H, WURSCHE R, HERMASCH S A, JAKISCH L, KRAUSE B, POETSCHKE P, SOCHER R, HEGEL H, JAKISH L, PERCHIK P, WUSHER R, KHERMASH Z A, YAKISH L, KRAUZE B, PECHKE P, ZOKHER R, HAGER H, POTSCHKE P, HAEGER H D, WURSCHE R D, HERMASCH S A D, JAKISCH L D, KRAUSE B D, POETSCHKE P D