国家/地区 世界知识产权组织(11) 美国(8)
IPC部 C(10) H(9) B(6)
IPC大类 C01(9) H01(9) B82(5)
C23(2)
IPC小类 C01B(9) H01L(8) B82B(3)
B82Y(2) C23C(2)
IPC C01B031/04(5) C01B031/02(4) H01L021/02(4)
B82B003/00(3) H01L021/20(3) H01L029/66(3)
B82Y040/00(2) C23C016/26(2) H01L029/06(2)
H01L029/16(2)
发明人 DAVIS M A(15)
公开年 2014(15)
申请年 2014(11)  2013(4) 
专利权人 SOLAN LLC(15)