国家/地区 中国(16)
IPC部 B(16)
IPC大类 C23(16) C01(9) B82(7)
B32(4) B01(3) B22(3)
H01(3) B81(2) G01(2)
IPC小类 C23C(16) C01B(9) B82Y(7)
B32B(4) B22F(3) B01D(2)
B01J(2) G01N(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(16)
发明人 SHI H(2) YANG X(2)
公开年 2017(16)
申请年 2016(9)  2017(7) 
专利权人 CHINESE ACAD.(2)