国家/地区 韩国(24) 美国(21) 中国(20) 世界知识产权组织(17) 日本(11) 台湾(9) 欧洲专利局(EPO)(6) 英国(3) 澳大利亚(2) 德国(2)
IPC部 C(46) H(46) B(11)
G(2)
IPC大类 C23(46)
IPC小类 C23C(46) H01L(32) C01B(23)
H01M(11) H01J(7) B82Y(5)
H01B(4) H01G(4) B32B(3)
C09D(3) B01J(2) C08K(2)
C25D(2) H05H(2)
IPC C23C016/26(46)
发明人 IFUKU R(4) MATSUMOTO T(4) GLASS H(3)
GUINEY I(3) NARKEVICIUTE I(3) THOMAS S(3)
TYLER M(3) VARADARAJAN B N(3) BYUN K(2)
BYUN K E(2) KIM S Y(2) LEE C(2)
LEE C S(2) LEE S(2) LIM J(2)
公开年 2021(46)
申请年 2020(23)  2021(17)  2019(6) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(5) APPLIED MATE.(3) LAM RES CORP(3) PARAGRAF LTD(3)
BEIHAI HUIKE.(2) DAEJOO ELECT.(2) HKC CO LTD(2) SAMSUNG ELEC.(2)
UNIV SINGAPO.(2) UNIV SUNGKYU.(2)