国家/地区 中国(18) 美国(4) 韩国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(23) H(7) B(5)
IPC大类 C23(23)
IPC小类 C23C(23) C01B(6) H01L(5)
B01J(3) C25B(2) C25D(2)
IPC C23C014/58(23)
发明人 KIM T S(2) SEOK H H(2) WANG W(2)
WANG Z(2) WOO K H(2) ZHOU J(2)
公开年 2021(23)
申请年 2021(13)  2020(7)  2019(3) 
专利权人 UNIV SUNGKYU.(2)