国家/地区 美国(10) 中国(7) 世界知识产权组织(6) 韩国(5) 英国(2)
IPC部 C(24)
IPC大类 C23(24)
IPC小类 C23C(24) H01L(13) C01B(10)
B82Y(6) C30B(3) B01J(2)
H01G(2)
IPC C23C016/02(24)
发明人 ELSAYED K A M(2) LEE C(2) LEE C S(2)
MAAROUF A A(2)
公开年 2023(24)
申请年 2022(17)  2021(6) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) UNIV IMAM AB.(2)