国家/地区 | 韩国(6) 世界知识产权组织(3) |
IPC部 |
C(10)
H(7)
B(2)
|
IPC大类 |
C01(10)![]() |
IPC小类 |
C01B(10)![]() |
IPC |
C23C016/26(7)
C01B032/186(5)
C23C016/02(3)
C23C016/44(2) C23C016/505(2) C30B029/02(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2023(10)![]() |
申请年 |
2021(10)![]() |
专利权人 |
CHO S M, CHO M G, OH H G, CHO M, OHHONGGI
KITANO A, SHIMIZU T, KUBO T
LEE C, JUNG A, SHIN H, SHIN K, SHIN K W, SHIN H J, JUNG A R, LEE C S