国家/地区 韩国(6) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(10) H(7) B(2)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C23C016/26(7) C01B032/186(5) C23C016/02(3)
C23C016/44(2) C23C016/505(2) C30B029/02(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2023(10)
申请年 2021(10)
专利权人