国家/地区 中国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C30(13) C01(5) H01(5)
C23(2)
IPC小类 C30B(13)
IPC C30B025/18(5) C30B029/02(5) H01L021/02(4)
C30B025/16(3) C30B029/40(3) C01B032/186(2)
C30B001/10(2) C30B025/20(2) C30B029/20(2)
C30B029/62(2)
发明人 CHEN Y(2) LI Y(2) WANG G(2)
WANG X(2) ZHANG J(2)
公开年 2023(13)
申请年 2022(13)
专利权人