国家/地区 中国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C30(9)
IPC小类 C30B(9)
IPC C30B025/18(6) C30B029/40(6) H01L021/02(4)
C30B023/02(2) C30B025/16(2) C30B029/02(2)
发明人
公开年 2023(9)
申请年 2022(5)  2023(3) 
专利权人