国家/地区 中国(21)
IPC部 C(21) G(5) H(3)
IPC大类 C23(21) C01(4) G01(4)
H01(3)
IPC小类 C23C(21) C01B(4) C23F(2)
G01N(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(21)
发明人 HE P(4) YANG D(4) ZHANG Z(4)
CHEN Y(2) LU G(2) SUI X(2)
WANG F(2)
公开年 2020(21)
申请年 2020(11)  2019(9) 
专利权人 CHINA DONGFA.(4) HUNAN ERLING.(2) QINGDAO FENG.(2)