国家/地区 中国(20)
IPC部 C(20) B(9) H(6)
A(3) G(3)
IPC大类 C01(20)
IPC小类 C01B(20)
IPC C23C016/26(12) C01B032/186(11) C01B032/194(6)
B82Y030/00(5) C01B031/04(5) C01B032/182(5)
B82Y040/00(4) C01B032/184(4) C23C016/56(4)
H01L029/16(4) B32B009/00(3) B32B038/10(3)
C23C016/01(3) C23C016/44(3) C23C016/50(3)
发明人 LIU X(3) TANG Y(2) YANG J(2)
公开年 2017(20)
申请年 2016(20)
专利权人 CORNING INC(2) SHANGHAI INS.(2)