国家/地区 台湾(130)
IPC部 C(130) H(84) B(71)
G(17) F(5) D(2)
IPC大类 C23(130)
IPC小类 C23C(120) C01B(84) H01L(56)
B82Y(41) B32B(31) H01B(19)
C30B(18) C23F(14) B01J(12)
B05D(12) H01M(12) B82B(11)
H01J(11) C03C(8) C25D(6)
IPC C23C016/26(64) C01B031/04(51) B82Y030/00(35)
B82Y040/00(32) C01B031/02(31) C01B032/186(27)
H01L021/02(22) C23C016/02(21) C23C014/06(19)
C23C016/455(17) C01B032/182(15) B32B009/00(14)
C23C016/56(12) H01L029/16(12) C01B032/194(11)
发明人 FAN S(12) JIANG K(10) LIN X(9)
FAN F Y(7) CHANG C(5) CHEN C(5)
CHIBA Y(5) TZENG Y(5) WANG J(5)
XIAO L(5) CHIBA G(4) CHIU P(4)
GUINEY I(4) HUANG J(4) HUANG Y(4)
公开年 2021(22) 2013(16) 2022(13) 2015(12) 2016(11) 2014(10) 2011(9) 2012(9) 2017(9) 2018(7) 2019(5) 2010(3) 2023(3)
申请年 2012(17)  2021(15)  2020(14)  2013(12)  2014(12)  2016(10)  2011(9)  2015(9)  2017(7)  2022(7)  2009(6)  2010(5)  2018(3)  2019(3) 
专利权人 HON HAI PREC.(13) HONGFUJIN PR.(13) UNIV TSINGHU.(13) NIPPON MININ.(7)
JX NIPPON MI.(6) UNIV NAT CHE.(6) APPLIED MATE.(5) LAM RES CORP(5)
UNIV TAIWAN .(5) BASF SE(4) CORNING INC(4) GUARDIAN GLA.(4)
GUARDIAN IND(4) GUARDIAN IND.(4) IND TECHNOLO.(4) NIPPON MININ.(4)
PARAGRAF LTD(4) FAN S(3) H HT CO LTD(3) INT BUSINESS.(3)

PARBATANI A, VAN SCHRAVENDIJK B J, VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SRINIVASAN E, SHARMA K, KNARR R, SCHMITZ S, RAMANAN V, NOGAMI T, NGUYEN S V, HUANG H, SHOBHA H K, LI J, PEETHELA C B, EDELSTEIN D C