国家/地区 美国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C30(9) H01(8) C01(7)
B82(5) C23(4)
IPC小类 C30B(9)
IPC H01L021/02(6) C01B031/02(5) B82Y040/00(4)
C01B031/04(4) C30B025/18(4) C30B029/02(4)
H01L021/20(4) H01L029/16(4) B82Y030/00(3)
C30B025/04(3) H01L029/06(3) H01L033/00(3)
B82B003/00(2) C23C016/26(2) C30B023/06(2)
发明人 FAN S(3) WEI Y(3) FAN F Y(2)
GI Y(2) KELBER J(2)
公开年 2013(9)
申请年 2012(9)
专利权人 HON HAI PREC.(3) HONGFUJIN PR.(3) UNIV TSINGHU.(3) KELBER J(2)
UNIV NORTH T.(2)