国家/地区 |
美国(9)![]() |
IPC部 |
C(9)![]() |
IPC大类 |
C30(9)
C01(8)
B82(7)
C23(4) H01(4) |
IPC小类 |
C30B(9)![]() |
IPC |
B82Y030/00(7)
B82Y040/00(7)
C01B031/04(7)
C30B029/02(5) C23C016/26(4) C30B025/16(3) C01B032/184(2) C23C016/56(2) C30B025/18(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2013(9)![]() |
申请年 |
2013(9)![]() |
专利权人 |
CHEN J, GAJDARDZISKAJOSIFOVSKA M, HIRSCHMUGL C, MATTSON E, PU H, WEINERT M
LOH K P, ZHANG K, CASTRO A H, LOH K
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
GROBERT N, MURDOCK A T, KOOS A A
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T