国家/地区 美国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C30(9) C01(8) B82(7)
C23(4) H01(4)
IPC小类 C30B(9)
IPC B82Y030/00(7) B82Y040/00(7) C01B031/04(7)
C30B029/02(5) C23C016/26(4) C30B025/16(3)
C01B032/184(2) C23C016/56(2) C30B025/18(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2013(9)
申请年 2013(9)
专利权人