国家/地区 美国(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C30(12)
IPC小类 C30B(12)
IPC C01B031/04(10) C30B029/02(10) C30B025/18(7)
C23C016/26(5) C01B032/186(4) B82Y040/00(3)
C01B031/02(3) C23C016/44(3) H01L021/02(3)
B82B003/00(2) C01B032/182(2) C01B032/188(2)
C23C016/02(2) C30B001/02(2) C30B025/02(2)
发明人 RUOFF R S(2) TOH C T(2)
公开年 2015(12)
申请年 2014(7)  2013(4) 
专利权人 UNIV SINGAPO.(2) UNIV TEXAS S.(2)