国家/地区 世界知识产权组织(21)
IPC部 C(16) H(16) B(10)
G(3)
IPC大类 H01(16) C01(14) B82(7)
C23(5) B01(3) B32(3)
G01(2)
IPC小类 C01B(14) H01L(11) B82Y(7)
C23C(5) B01J(3) B32B(3)
G01N(2) H01B(2) H01J(2)
IPC C01B031/02(10) B82Y030/00(7) B82Y040/00(6)
C01B032/182(6) H01L021/28(6) H01L029/06(6)
H01L029/786(6) C01B031/04(5) H01L021/336(5)
H01L029/78(5) C01B032/15(3) C01B032/18(3)
C23C016/26(3) H01L029/16(3) H01L029/66(3)
发明人 HASEGAWA MASATAKA(5) ISHIHARA MASATOU(4) HASEGAWA M(3)
MASATAKA H(3) SATO S(3) YAMADA TAKATOSHI(3)
HO K J(2) IIJIMA S(2) IIJIMA SUMIO(2)
ISHIHARA M(2) JAEHO K(2) KATSUHISA M(2)
KAWABATA A(2) KIM J(2) KIM JAEHO(2)
公开年 2014(6) 2016(2) 2018(2) 2021(2) 2023(2)
申请年 2013(5)  2014(3)  2015(2)  2017(2)  2020(2)  2022(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(21)