国家/地区 美国(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C30(12)
IPC小类 C30B(12)
IPC C01B031/04(10) C30B029/02(7) B82Y030/00(5)
B82Y040/00(5) C23C016/26(5) C30B025/18(5)
C01B031/02(3) C30B025/16(3) C01B032/186(2)
C23C016/02(2) C23C016/56(2) C30B029/64(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2013(5) 2014(5) 2015(2)
申请年 2013(12)
专利权人