国家/地区 中国(13)
IPC部 H(8) B(3) C(3)
G(2)
IPC大类 H01(8) C01(3) B82(2)
IPC小类 H01L(8) C01B(3) B82Y(2)
IPC C01B031/04(3) B82Y010/00(2) H01L021/02(2)
H01L021/04(2) H01L021/768(2) H01L029/78(2)
发明人 FU Y(8) HUANG R(8) WEI Z(8)
ZHANG X(8) YE T(4) ZHAO H(4)
REN L(3) WEI Q(3) LI C(2)
YIN J(2) ZHOU M(2)
公开年 2012(13)
申请年 2012(13)
专利权人 UNIV PEKING(13)