国家/地区 台湾(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C23(12)
IPC小类 C23C(10) C01B(9) C30B(4)
B82Y(3) H01L(3) B01J(2)
B32B(2) C07C(2) C23F(2)
IPC C01B031/04(9) C23C016/26(5) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C01B031/02(3) C30B029/02(3)
C01B032/186(2) C23C014/06(2) C23C016/00(2)
C23C016/02(2) H01L051/00(2)
发明人
公开年 2014(9) 2015(2)
申请年 2013(12)
专利权人 NIPPON MININ.(2)