国家/地区 中国(8) 美国(8) 欧洲专利局(EPO)(5) 韩国(5) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 加拿大(2) 德国(2) 新加坡(2)
IPC部 C(14)
IPC大类 C23(14)
IPC小类 C23C(14) C01B(6) B82Y(4)
H01L(3) B01J(2) B23K(2)
B32B(2)
IPC C23C016/56(14)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) SINTON S W(2)
SWETT J L(2) TAN H(2)
公开年 2017(10) 2018(2)
申请年 2016(14)
专利权人 LOCKHEED MAR.(2) WUXI GRAPHEN.(2)