国家/地区 美国(35)
IPC部 C(35) H(17) B(13)
A(3) G(3) F(2)
IPC大类 C23(35)
IPC小类 C23C(34) C01B(26) H01L(10)
B82Y(6) C03C(5) H01B(5)
B32B(4) B01J(3) C30B(3)
G01N(3) H01G(3) H05K(3)
C23F(2) C25D(2) H01M(2)
IPC C23C016/26(20) C01B031/04(14) C01B032/186(13)
H01L029/16(8) C01B032/194(7) C23C016/56(7)
C01B032/182(6) C23C016/02(6) H01L021/02(6)
B82Y030/00(5) B82Y040/00(5) C23C014/06(5)
C23C016/01(5) C23C016/44(5) C23C016/455(5)
发明人 LIU X(4) BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2)
KIM Y(2) MATSUMOTO T(2) SINTON S W(2)
SONG Z(2) SWETT J L(2) TANG Y(2)
WANG Y(2)
公开年 2017(35)
申请年 2016(35)
专利权人 CORNING INC(3) LOCKHEED MAR.(2) TOKYO ELECTR.(2)