国家/地区 中国(100) 美国(56) 韩国(47) 世界知识产权组织(38) 日本(26) 欧洲专利局(EPO)(22) 台湾(14) 印度(7) 加拿大(6) 俄罗斯(6) 德国(5) 英国(5) 澳大利亚(4) 法国(2)
IPC部 C(169) B(61) H(61)
G(12) F(6) A(3)
D(2)
IPC大类 C23(169) H01(55) C01(46)
B82(24) C25(24) C09(16)
C22(14) B01(13) B05(12)
B22(12) G01(8) C08(7)
C30(7) H05(7) B32(5)
IPC小类 C23C(169)
IPC C23C016/26(60) C23C016/02(27) B82Y030/00(19)
B82Y040/00(19) C01B032/186(19) C01B032/194(17)
C23C016/455(17) H01L021/02(15) C23C014/06(14)
C23C028/00(12) C23C016/56(11) C23C016/44(10)
C23C016/52(10) C23C016/04(9) C23C016/34(9)
发明人 LU Y(7) ZHANG J(7) BI C(6)
LIU Z(6) ZHAO Y(5) GAO X(4)
LIU B(4) PENG H(4) SHIN H(4)
SHIN H J(4) WANG J(4) WANG L(4)
WANG Q(4) XU J(4) YANG X(4)
公开年 2021(169)
申请年 2020(169)
专利权人 BEIJING GRAP.(6) XI AN SPECIA.(6) SAMSUNG ELEC.(5) UNIV PEKING(4)
ESAULOV S K(3) ESAULOVA TS .(3) KOREA INST S.(3) NAT INST ADV.(3)
PARAGRAF LTD(3) QUANTUM ELEM.(3) SUNGJIN LOGI.(3) TOKYO ELECTR.(3)
UNIV SUNGKYU.(3) YAZAKI CORP(3) BEIHAI HUIKE.(2) BEIJING INST.(2)
EV GROUP THA.(2) FUJIAN MATER.(2) HKC CO LTD(2) KLUEBER LUBR.(2)