国家/地区 美国(17) 世界知识产权组织(9) 台湾(6)
IPC部 H(16) C(13)
IPC大类 H01(16) C23(13) C01(6)
IPC小类 H01L(16) C23C(13) C01B(6)
H01J(3)
IPC C23C016/26(13) H01L021/02(8) H01L021/768(8)
H01L021/285(7) C23C016/455(5) H01L023/532(5)
C23C016/02(4) C23C016/50(3) C23C016/511(3)
H01J037/32(3) H01L021/3205(3) H01L021/3213(3)
C01B031/04(2) C01B032/184(2) C01B032/186(2)
发明人 MALLICK A B(5) NEMANI S D(4) SINGHA R S(3)
YING C C(3) CHEN E(2) CHUA T C(2)
GANDIKOTA S(2) HWANG H D(2) INGLE N K(2)
JIANG H(2) LANG C(2) LIANG Q(2)
LU C(2) MEBARKI B(2) NAIK M(2)
公开年 2023(5) 2021(4) 2022(4) 2020(2)
申请年 2021(5)  2022(5)  2019(3)  2020(2) 
专利权人 APPLIED MATERIALS INC(17)