国家/地区 美国(9)
IPC部 H(8) C(7)
IPC大类 H01(8) C23(7) C01(4)
IPC小类 H01L(8) C23C(7) C01B(4)
H01J(2)
IPC C23C016/26(7) H01L021/768(6) H01L021/285(5)
H01L021/02(4) H01L023/532(3) C01B031/04(2)
C23C016/02(2) C23C016/455(2) C23C016/50(2)
C23C016/511(2) C23C016/54(2) H01J037/32(2)
H01L021/3205(2) H01L021/3213(2) H01L029/16(2)
发明人 MALLICK A B(3) CHUA T C(2) MEBARKI B(2)
ROY S S(2) SINGHA R S(2)
公开年 2023(3) 2022(2)
申请年 2021(3)  2019(2)  2022(2) 
专利权人 APPLIED MATERIALS INC(9)