国家/地区 日本(8) 美国(6) 中国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 H(9) B(6) C(4)
G(3)
IPC大类 H01(9) B82(6) C01(4)
G01(3)
IPC小类 H01L(9) B82Y(6) C01B(4)
G01J(3)
IPC H01L029/16(5) B82Y040/00(4) H01L023/532(4)
H01L029/786(4) G01J001/02(3) H01L021/02(3)
H01L021/3205(3) H01L021/336(3) H01L021/768(3)
H01L029/778(3) B82Y020/00(2) B82Y030/00(2)
C01B031/02(2) H01L021/04(2) H01L021/20(2)
发明人 KONDO D(9)
公开年 2015(2) 2023(2)
申请年 2009(3)  2021(3) 
专利权人 FUJITSU LTD(9)