国家/地区 日本(9) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(7) C(5) B(2)
IPC大类 H01(7) C01(5)
IPC小类 H01L(7) C01B(5)
IPC H01L021/336(6) H01L029/06(6) H01L029/786(6)
C01B031/02(4) H01L051/05(4) H01L051/30(4)
C01B031/04(3) H01L021/02(2) H01L021/28(2)
H01L021/3205(2) H01L021/768(2) H01L023/522(2)
H01L023/532(2) H01L029/16(2) H01L029/161(2)
发明人 JIPPO H(2) KONDO T(2)
公开年 2013(9)
申请年 2011(6)  2012(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(9)