国家/地区 美国(17)
IPC部 H(13) C(6) B(4)
A(2) G(2)
IPC大类 H01(12) B01(3) C01(3)
A61(2) C02(2) C23(2)
IPC小类 H01L(12) C01B(3) A61K(2)
B01J(2) C02F(2) C23C(2)
IPC H01L029/16(7) H01L029/66(6) H01L029/786(4)
H01L029/06(3) H01L029/10(3) H01L029/78(3)
A61K009/06(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
H01L029/167(2) H01L031/0224(2) H01L031/028(2)
H01L031/113(2)
发明人 LEE B H(6) HAM M H(3) JUNG G Y(3)
KIM S Y(3) KIM Y J(3) CHANG K E(2)
HAM M(2) HWANG H J(2) JUNG G(2)
MYUNGWOO S(2) PARK Y S(2) SON M(2)
SON M W(2) SUN M(2) XIAN W(2)
公开年 2017(5) 2014(2) 2015(2) 2016(2) 2018(2) 2021(2)
申请年 2017(5)  2016(3)  2020(3)  2012(2) 
专利权人 GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(17)