国家/地区 中国(12) 美国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 H(12)
IPC大类 H01(11)
IPC小类 H01L(11)
IPC H01L021/336(4) H01L029/78(4) H01L031/18(4)
H01L029/06(3) H01L031/0216(3) H01L029/16(2)
H01L031/0224(2)
发明人 LIU X(12)
公开年 2013(4) 2017(4) 2012(3)
申请年 2016(4)  2010(3)  2011(2)  2012(2) 
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(12)