国家/地区 中国(14) 美国(5) 世界知识产权组织(5)
IPC部 H(13) B(5)
IPC大类 H01(12) B82(4)
IPC小类 H01L(12) B82Y(4)
IPC H01L021/336(8) H01L029/78(7) H01L029/06(6)
B82Y040/00(3) B82Y099/00(3) H01L021/28(3)
H01L029/786(3) B82Y010/00(2) H01L021/04(2)
H01L021/20(2) H01L029/16(2) H01L029/423(2)
H01L029/66(2) H01L029/775(2)
发明人 ZHU H(14)
公开年 2013(4) 2014(4) 2012(3) 2015(2)
申请年 2013(5)  2011(4)  2012(3) 
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(14)